賽悟德半導(dǎo)體科技(上海)股份有限公司
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半自動(dòng)氣體輸送架是適用于惰性氣體和可燃性(開放式環(huán)境下)、無腐蝕性、無毒性的高純氣體的供應(yīng)系統(tǒng),基本功能包括手動(dòng)吹掃、自動(dòng)切換以及緊急情況下的自動(dòng)安全切斷。
半自動(dòng)功能閥門分配箱
全自動(dòng)TMA VMB輸送柜
全自動(dòng)TMA輸送柜
半自動(dòng)特殊氣體輸送氣架
全自動(dòng)特殊氣體輸送柜
門分配盤面
自動(dòng)功能閥門分配箱
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